Categorie Produs
<1×10⁻⁸ · EP Ra 0.4µm · ≤0.01mm Flat · Față de etanșare cu tăiere în zbor
VCB / 001 — 008
Prelucrare CNC de Precizie
Corpurile camerei de vid
Corpuri personalizate CNC pentru camere de vid — planeitatea feței de etanșare ≤ 0.01 mm, interfețe flanșe conform standardului KF/CF/ISO-K, suprafețe interne electropolizate Ra 0.4 µm, test de scurgere cu heliu <1×10⁻⁸ mbar·l/s. SUS316L și Al 6061 pentru echipamente de procesare semiconductori și sisteme de vid pentru cercetare.
<10⁻⁸
Rata de scurgere
Ra 0.4µm
Intern EP
≤0.01mm
Suprafață de etanșare plată
DESEN PART · VCB-000 CORP CAMERĂ DE PROCES · SUS316L EP
ISO 9001 · CAMERĂ CURATĂ ISO 5
Față de etanșare cu tăiere în zbor
Flanșe multi-port
Semi · Cercetare · Optic · Med · Industrie
Cazuri de utilizare
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Al 6082
Materiale
48hr Citat · Proto 8-Zile
Serviciu
<1×10⁻⁸
Rata de scurgere
test cu heliu
test cu heliu
Ra 0,4µm
Suprafața Internă
electropolizat
electropolizat
≤0.01mm
Nodul de etanșare plat
toate flanșele de cuplare
toate flanșele de cuplare
8 zile
Livrare cea mai rapidă
comenzi pentru prototipuri
comenzi pentru prototipuri
Provocări în prelucrare
Provocări în prelucrarea corpului camerei de vid
Un corp de cameră de vid trebuie să combine rigiditatea structurală sub sarcină atmosferică cu suprafețe interne ultra-curate și interfețe de flanșe etanșe — cerințe care se contrazic în timpul prelucrării.
💨
Nodul de etanșare plat
Fiecare față de flanșă — fie CF, KF sau ISO-K — trebuie să fie plană la ≤ 0,01 mm și lipsită de urme de prelucrare care ar putea crea căi de micro-scurgere. HXC realizează tăieturi de zbor pe toate fețele de etanșare ca o operație finală dedicată, referențiată la datum-ul camerei.
🧼
Suprafețe Interne Ultra-Curate
Suprafețele interne trebuie să fie lipsite de reziduuri de prelucrare, uleiuri și micro-asprimi care degajă gaz în vidul de proces. HXC electropolizează toate suprafețele interne și le curăță ultrasonic în IPA înainte de ambalarea în cameră curată.
🏗️
Integritatea Structurală Sub Vacuum
Peretele camerei trebuie să reziste la o diferență de presiune de 1 bar fără deformare. Grosimea peretelui, geometria nervurilor și designul port-boss sunt revizuite în DFM pentru adecvarea structurală la condițiile de funcționare.
Lucrările noastre
Solicită piesă similară →
Corpuri de cameră de vid pe care le-am realizat
Camere de vid din aluminiu și oțel inoxidabil pentru echipamente de procesare a semiconductoarelor și sisteme de cercetare.
Capacități și toleranțe
Ce putem livra
Specificații tipice — confirmați cerințele exacte la solicitare.
| Rată de scurgere | <1×10⁻⁸ mbar·l/s (test cu heliu) |
| Ra Intern | 0,4 µm (electropolizat) |
| Planitatea feței de etanșare | ≤ 0.01 mm |
| Standarde pentru flanșe | CF, KF, ISO-K/F, VCR, personalizat |
| Dimensiunea maximă a camerei | Ø600 mm × 500 mm |
| Grosimea minimă a peretelui | 6 mm (Ø100 mm), revizuit pe dimensiune |
| Materiale | SUS316L, SUS304, Al 6061/6082 |
| Electropolizare | Standard — toate suprafețele interne |
| Test cu heliu | 100% fiecare cameră, certificat |
| Curățare | IPA ultrasonic + N₂ + pachet pentru cameră curată |
| Timp de livrare (proto) | 8–12 zile |
| Timp de livrare (lot) | 14–22 zile |
Cum funcționează
De la desen la piesă pregătită pentru cameră curată
Încărcați desenul dvs. — revizuire DFM, prelucrare, curățare, inspecție și ambalare în cameră curată în termenul convenit.
01
Încărcați desenul
STEP, DXF, PDF. Includeți materialul, toleranța și clasa de curățenie.
02
DFM & Ofertă
Revizuire DFM gratuită — fezabilitatea suprafeței de etanșare, pereți subțiri, strategie de degroșare. Ofertă în 48 de ore.
03
Mașină, Curățare & Inspecție
Prelucrare CNC, curățare ultrasonică, inspecție CMM, ambalare în cameră curată.
04
Livrare în întreaga lume
Raport dimensional complet + înregistrare de curățare inclusă. DHL / FedEx / transport maritim.
Recenzii
De încredere pentru inginerii echipamentelor semiconductoare
★★★★★
"Curățenia suprafeței și ambalarea au îndeplinit imediat cerințele noastre de inspecție incoming în camera curată. Raportul dimensional s-a potrivit perfect cu verificarea noastră CMM."
LW
Li Wei
Inginer echipamente de proces · România
★★★★★
"HXC a înțeles cerințele de etanșare cu vid pentru componentele camerei noastre fără explicații îndelungate. Timpul de livrare a fost exact cel estimat."
SL
Sophie L.
Inginer proiectare echipamente · România
★★★★★
"Am achiziționat piese pentru manipularea wafer-ilor și componente pentru cameră de la HXC de doi ani. Curățenia, precizia dimensională și consistența loturilor sunt excelente."
JT
James T.
Senior Achiziții · România
Întrebări frecvente
Întrebări frecvente despre prelucrarea corpului camerei de vid
Întrebări de inginerie și achiziții răspunse de echipa noastră de componente semiconductoare.
Da. Fețele de etanșare sunt frezate ca operațiunea finală de prelucrare — după toate operațiunile de găurire, filetare și prelucrare a porturilor — pentru a preveni distorsionarea feței de către orice operațiune ulterioară. Planeitate: ≤ 0.01 mm standard, ≤ 0,005 mm pentru UHV. Fiecare cameră este testată la scurgeri cu spectrometru de masă cu heliu la <1×10⁻⁸ mbar·l/s înainte de expediere. Certificatul de testare la scurgeri este inclus.
SUS316L: standard pentru vid înalt și ultra-înalt — degazare redusă, electro-polisabil, sudat, non-magnetic. Al 6061/6082: pentru sisteme de vacuum cu vid scăzut (< 10⁻⁶ mbar) unde contează greutatea și conductivitatea termică. SUS304: pentru vacuum mediu și aplicații de proces curat. Certificate de calitate ale materialelor furnizate cu fiecare comandă.
Da — HXC oferă o secvență completă de tratament post- prelucrare: (1) Degresare; (2) Electropolishing al suprafețelor interne (Ra 0.4 µm); (3) Curățare ultrasonică cu IPA; (4) Purjare și uscare cu N₂; (5) Test de scurgere cu heliu; (6) Ambalare în cameră curată de clasă ISO 5. Passivare (SUS316L) și anodizare dură (Al) sunt, de asemenea, disponibile.
CF ConFlat (cu muchie de cuțit UHV, DN16–DN500), KF/QF (ISO 2861, Ø10–160 mm), ISO-K / ISO-F (diametru mare), garnitură de etanșare VCR, și flanșe personalizate cu etanșare față. Toate dimensiunile de flanșe prelucrate conform standardului ISO/PNEUROP și verificate cu CMM.
HXC efectuează o calculare a recipientului sub presiune (simplificată pentru aplicații non-recipient sub presiune) ca parte a revizuirii DFM: grosimea peretelui față de diferența de presiune de operare (1 bar), stresul la portul boss și sudurile de flanșă, și deformarea la cel mai mare panou nesuportat. Semnalăm zonele subdimensionate și recomandăm creșteri ale grosimii peretelui sau caracteristici de întărire înainte de tăiere.
Da — porturile de intrare gaz, flanșele de trecere electrică, cadrele pentru vizor și porturile pentru senzori pot fi toate prelucrate în aceeași configurație cu corpul camerei. Toate pozițiile porturilor sunt verificate cu CMM. Dimensiunile flanșelor de trecere sunt prelucrate conform desenului de interfață al producătorului de treceri.
Părțile sunt curățate, purjate cu N₂ și sigilate dublu în pungi de cameră curată ISO Clasa 5. Pentru camere de calitate semiconductor: certificat de număr de particule disponibil. Toate porturile sunt sigilate cu capace ESD-safe înainte de ambalare. Cutia de transport este etichetată cu numărul lotului, materialul și rezultatul testului de etanșeitate pentru trasabilitate.
Prototip (noua proiectare a camerei, tratament complet și testare): 8–12 zile. Comenzi repetate (lot): 12–20 de zile. Camere UHV cu rată de scurgere <1×10⁻¹⁰: adăugați 2–3 zile.
Solicită o ofertă
Trimite-ți desenul.
Obține o ofertă.
Fiecare solicitare include o revizuire DFM — fezabilitatea toleranței, confirmarea materialului și abordarea procesului înainte de începerea producției. MOQ 1 piesă.
24hr
Răspuns la ofertă
MOQ 1
Prototipuri OK
ISO
9001:2015
📐
Revizuire DFM pentru fiecare solicitare
Fezabilitatea toleranței, strategia de fixare și confirmarea materialului. Feedback specific și acționabil — nu respingeri generice.
🎯
Inspecția primului articol — Standard
Raport FAI pentru fiecare lot nou. Certificări de material și tratament de suprafață incluse cu fiecare livrare.
🔄
Același proces: prototipare până în producție
Planul de proces din prototipul dumneavoastră se aplică loturilor de producție. Fără re-qualificare atunci când scalați.
⚙
Frezare CNC 3 / 4 / 5-Axis + Strunjire
Piese structurale complexe, arbori, carcase și componente de transmisie. Metale și plastice de inginerie.
ISO 9001:2015
Frezare 3/4/5-Axis
Frezare în strung CNC
Inspecție CMM
Livrare globală