info@hxcnc.com Шэньчжэн, Китай Ответ в течение 24 часов
ISO 9001 : 2015 Получить мгновенную квоту
Получить предложение
Получить предложение
Категория продукта
1×10⁻⁸ · EP Ra 0.4µm · ≤0.01mm Плоскость-фаска отв. · Фаска по поверхности уплотнения
VCB / 001 — 008

П precision CNC обработка
Корпуса вакуумной камеры

Пользовательские корпуса вакуумной камеры с ЧПУ — плоскость уплотнения ≤ 0.01 мм, фланцевые интерфейсы к стандартам KF/CF/ISO-K, внутренние поверхности электроплёнка Ra 0.4 мкм, испытания на утечки гелием <1×10⁻⁸ мбар·л/с. SUS316L и Al 6061 для оборудования полупроводникового процесса и исследовательских вакуумных систем.

<10⁻⁸
Утечка
Ра 0.4µm
ВЭ Internal
≤0,01mm
Плоскость уплотнения
Получить мгновенную квоту → Смотреть наши работы
ЧАСТЬ ЧЕРТЕЖ · VCB-000 ПРОЦЕССНАЯ КАМЕРА ТЕЛО · SUS316L EP ISO 9001 · ЧИСТАЯ КОМНАТА ISO 5
Фаска по поверхности уплотнения
Многофорточные фланцы
КРЫШКА CF ФЛАНЕЦ · ПОПЛННАЯ ПОВЕРХНОСТЬ ВОЗДУШНАЯ ПОЛОСТЬ P < 10⁻⁸ мбар EP Ра 0.4µm KF40 KF25 VCR ISO-K · НАСОС t ≥ 8мм ⏥ 0,01 КОРПУС КАМЕРЫ · ⏥ 0.01 · EP EP · ВНУТРЕННИЙ Ra ПРОФИЛИРОВАННОЕ ОБРАБОТАНО Ра 1,6 ✗ EP ◀ Ра 0.4 ✓ OUTGAS ÷10 · ГОТОВ К UHV СЕДЛО ОБЕЗОГОРАЖИВАЮЩЕЕ · ФЛАЙ-КАТ Ø100 ЛИНЕЙНЫЙ Ø одна точка · финальная операция ⏥ ≤ 0.01 мм Ra 0.8 мкм уплотнение без отметок заикания ✓ после всех операций ✓ подтверждено CMM QC · 6-ШАГОВ 1· обезжиривание · удаление стружки 2· EP внутренний Ra 0.4 3· IPA ультразвук + N₂ 4· Утечка He <10⁻⁸ 5· Полный отчет CMM 6· ISO 5 чистая комната упаковка МАТЕРИАЛ · БАЗОВОЕ ДАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛ P мин ИСПОЛЬЗОВАТЬ СУС316L EP ◀ 10⁻¹⁰ UHV полупроводник SUS316L 10⁻⁸ HV исследования СУС304 10⁻⁷ промышленный Ал 6061 HA 10⁻⁶ оптический · MV Al 6082 10⁻⁵ бюджет MV МАСШТАБ 1 : 4 · ММ
Полу · Исследование · Оптика · Медицина · Индустрия
Сферы применения
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Al 6082
Материалы
48hr Котировка · 8-дневный прототип
Сервис
<1×10⁻⁸
Утечка
испытание на гелий
Ra 0.4µм
Внутренняя поверхность
электрополировка
≤0.01 мм
Плоскостность уплотняющей поверхности
все сопрягаемые фланцы
8 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач

Проблемы обработки корпуса вакуумной камеры

Корпус вакуумной камеры должен сочетать структурную жесткость при атмосферной нагрузке с ультрачистыми внутренними поверхностями и герметичными интерфейсами фланцев — требования, которые тянут в противоположные направления во время обработки.

💨
Плоскостность уплотняющей поверхности
Каждая поверхность фланца — независимо от CF, KF или ISO-K — должна быть плоской до ≤ 0.01 мм и свободной от обрабатывающих меток, которые могли бы создать микрорывовые пути утечки. HXC выполняет фрезерование по контуру всех уплотнительных поверхностей как завершающую операцию, привязанную к базовой плоскости камеры.
🧼
Сверхчистые внутренние поверхности
Внутренние поверхности должны быть свободны от обрабатывающих остатков, масел и микрошероховатости, которые выделяют газ в процессе вакуума. HXC электрополирует все внутренние поверхности и ультразвуковую очистку в IPA перед упаковкой в чистую комнату.
🏗️
Структурная целостность под вакуумом
Стены камеры должны выдерживать перепад давления 1 бар без прогиба. Толщина стенок, геометрия ребер и дизайн порт-«босс» рассматриваются в ходе DFM на предмет структурной пригодности при рабочих условиях.
Наша работа

Корпуса вакуумной камеры, которые мы сделали

Вакуумные камеры из алюминия и нержавеющей стали для оборудования процессов полупроводников и исследовательских систем.

Запросить аналогичную деталь →
Корпус камеры процесса — SUS316L
Исследовательская вакуумная камера
Камера излучения для осаждения (PVD)
Оптическое вакуумное кожух
Корпус процесса CVD
Реакторная камера ALD
Медицинская вакуумная камера
Корпуса камеры — серия
Возможности и допуски

Что мы можем предоставить

Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.

Утечка<1×10⁻⁸ мбар·л/с (испытание на He)
Внутренний Ra0,4 мкм (электрополировка)
Плоскостность уплотняющей поверхности≤ 0.01 мм
Стандарты фланцевCF, KF, ISO-K/F, VCR, индивидуальные
Максимальный размер камерыØ600 мм × 500 мм
Мин. толщина стенки6 мм (Ø100 мм), пересматривается по размеру
МатериалыSUS316L, SUS304, Al 6061/6082
ЭлектрополировкаСтандарт — все внутренние поверхности
Гелиевый тест100% каждая камера, сертификат
ОчисткаIPA ультразвук + N₂ + упаковка чистой комнаты
Срок изготовления (прототип)8–12 дней
Срок изготовления (партия)14–22 дня
Как работает

От чертежа до детали, готовой к чистой комнате

Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.

01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатный обзор DFM — осуществимость уплотнительной поверхности, тонкие стенки, стратегия снятия заусенцев. Предложение в течение 48 часов.
03
Обработка, чистка и инспекция
ЧПУ обработка, ультразвуочная очистка, измерение CMM, упаковка в чистую комнату.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + акт очистки прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы

Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников

★★★★★
"Поверхностная чистота и упаковка сразу соответствовали нашим требованиям входного инспекционного контроля чистой комнаты. Размерной отчет полностью совпал с нашим контролем CMM."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Мы уже два года закупаем обработку подложек и детали камеры у HXC. Чистота, размерная точность и партийная стабильность на высоте."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы

Часто задаваемые вопросы о обработке тела вакуумной камеры

Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.

Да. Уплотняющие поверхности снимаются флайл-обточкой как финальная обработка - после всех сверлений, резьбовых отверстий и обработки портов - чтобы предотвратить искажение поверхности последующими операциями. Плоскостность: ≤ 0.01 мм нормативная, ≤ 0.005 мм для УВЧ. Каждая камера подвергается утечке масс-спектрометра гелия 1×10⁻⁸ мбар·l/s до отгрузки. Включен сертификат на тест вакуумной утечки.
SUS316L: стандарт для вакуума высокого и ультра-высокого вакуума — низкий выброс, электрополировка, сварка, немагнитный. Ал 6061/6082: для систем с более низким вакуумом (< 10⁻⁶ мбар), где важны масса и теплопроводность. СУС304: для вакуума среднего уровня и чистых технологических процессов. Свидетельства о чушках материалов поставляются с каждым заказом.
Да — HXC предоставляет полный пакет постобработки после обработки: (1) Обезжиривание; (2) Электрополировка внутренних поверхностей (Ra 0,4 мкм); (3) Мойка ультразвуком в IPA; (4) Продувка азотом и сушка; (5) Пробный тест на утечку гелием; (6) Упаковка в чиструм ISO уровень 5. Пассивация (SUS316L) и твёрдый анодирование (Al) также доступны.
CF КонФлат (лезвие-угольник UHV, DN16–DN500), КФ/КБ (ISO 2861, Ø10–160 мм), ИСО-К / ИСО-Ф (большого диаметра), VCR уплотнение лицевая, и нестандартные фланцы лицевых уплотнений. Все размеры фланцев обработаны по стандарту ISO/PNEUROP и проверены CMM.
HXC выполняет расчет давностного сосуда (упрощенный для приложений без сосудов под давлением) в рамках обзора DFM: толщина стенки по отношению к давлению эксплуатации (1 бар), напряжения в отверстии порта и сварке фланцев, а также прогиб на наибольшей unsupported панели. Мы помечаем недостроенные области и рекомендуем увеличить толщину стенки или внедрить stiffening features перед резкой.
Да — газовые входные порты, фланцы проходных соединений, рамы прозрачности и порты датчиков можно обрабатывать на той же настройке, что и корпус камеры. Все позиции портов проверены CMM. Размеры фланцев проходов обрабатываются согласно интерфейсному чертежу производителя проходов.
Части очищаются, заполняются азотом и двойно запаковываются в чистых помещениях класса ISO 5. Для камер промышленного уровня частиц наличие сертификата. Все порты закрыты إيESD- безопасными затычками перед упаковкой. Упаковочная картонная коробка помечена номером партии, материалом и результатами испытания на герметичность для трассируемости.
Прототип (новый корпус/камера, полное обработка и испытания): 8–12 дней. Повторные заказы (партия): 12–20 дней. ВUХ-камеры с утечкой менее 1×10⁻¹⁰: добавить 2–3 дня.
Получить предложение

Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.

Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.

24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015 Фрезерование 3/4/5 осей Токарная обработка на станках с ЧПУ CMM-инспекция Глобальная доставка