info@hxcnc.com Шэньчжэн, Китай Ответ в течение 24 часов
ISO 9001 : 2015 Получить мгновенную квоту
Получить предложение
Получить предложение
Категория продукта
Отверстие ±0,005 · Ra 0,4 · Гелиевый тест на утечку 1e-8 · Многозонный · Минимальный заказ 1
ВВП / 001 — 010

ultra-чистый CNC
Пластины распределения газа

Ультра-чистые распределительные пластины для газа, обработанные на ЧПУ для полупроводников — внутренний канал потока Ra 0,4 мкм, диаметр отверстия ±0,005 мм, позиция отверстия ±0,01 мм, плоскостность уплотнительной поверхности ≤ 0,008 мм, скорость утечки гелия < 1×10⁻⁸ мбар·л/с. Для подачи газа в камеры процессов CVD, ALD, травления и MOCVD — включая многозонные конфигурации с контролем плотности отверстий по центру и краю.

±0,005mm
Диаметр отверстия.
Ра 0.4µm
Внутренний канал.
1e-8
He-утечка
Получить мгновенную квоту → Смотреть наши работы
Чертеж детали · GDP-001 Душевая головка · SUS316L EP · Ra 0,4 · Гелиевый тест на утечку 1e-8 ISO 9001 · Электрополировка · КИМ
Отверстие ±0,005
Многозонная плотность
ПЛАСТИНА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ГАЗА · ВИД СВЕРХУ SUS316L EP · Ø200 · 121 отверстие · Ra 0,4 ±0,005 Ø В VCR Центральная зона · Ø0,4 плотная Крайняя зона · Ø0,3 редкая He УТЕЧКА ✓ < 1×10⁻⁸ мбар·л/с Ø200 · 121 отверстие Поперечное сечение · отверстие EP Ra 0,4 · коллектор + струя A ПРОЦЕСС · ТИП CVD душ ◀осаждение Пластина ALDатомный слой камера травленияРТТ · ДРТТ МОХВД · ПЭХВДспециализация ИНТЕРФЕЙС · СТАНДАРТ VCR торцевое уплотнение ◀Свагелок CF КонФлатУХВ нож KF / ISO-KFсредний вакуум Индивидуальное торцевое уплотнениечертёжная спецификация ЗОНА · ПЛОТНОСТЬ ОДНОРОДНОСТЬ МУЛЬТИ-Z ЦЕНТР+КРАЙ ◀ КОНСТРУКЦИЯ Ø0,2–Ø2,0 мм ОТВЕРСТИЕ ДО 500 ОТВЕРСТИЙ/ПЛАСТИНА МАТЕРИАЛ · ЧИСТОТА СУС316L EP ◀Ra 0,4 + пассивированная Al 6061 твердый аноднекоррозионный газ Ti Группа 5агрессивный газ Гелиевый тест на протечку < 1×10⁻⁸УВВ: 1e-10 доступно упаковка класса ISO 5продувка N₂ + пакет МАСШТАБ 1:1 · ММ
CVD · ALD · Травление · MOCVD · PECVD · Эпитаксия
Применения
SUS316L EP · Al 6061 · Ti Гр.5
Материалы
48hr Котировка · 8-дневный прототип · MOQ 1
Сервис
<1×10⁻⁸
Утечка
тест на герметичность гелием мбар·л/с
±0.005мм
Диаметр отверстия
прецизионное сверление
Ra 0.4µм
Внутренний канал
электрополировка
8 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач

Проблемы распределительной пластины газа

Газораспределительные пластины для камер обработки полупроводников требуют самой высокой чистоты, равномерности потока и герметичности среди всех изделий с ЧПУ.

💨
Равномерность отверстий для равномерности процесса
Неравномерные диаметры отверстий вызывают неравномерный поток газа по пластине — что напрямую приводит к неравномерности толщины пленки или скорости травления. HXC поддерживает диаметр отверстий ±0.005 мм по всем отверстиям, проверено с помощью КИМ или оптического микроскопа.
🧼
Ультра-чистые внутренние каналы
Процессные газы не должны загрязняться остатками обработки. Все внутренние каналы электрополируются до Ra 0,4 мкм, ультразвуково очищаются в ИПС и проходят тест на герметичность гелием. Любые оставшиеся остатки выделяются в процессную среду.
🔒
Герметичные уплотнительные поверхности
Газораспределительные пластины камер работают при давлениях от вакуума до нескольких бар. Каждая уплотнительная поверхность должна быть проверена на герметичность до 1×10⁻⁸ мбар·l/s до установки в камеру.
Наша работа

Газораспределительные пластины, которые мы изготовили

Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.

Запросить аналогичную деталь →
CVD распределительная пластина для душевой головкиНерж. сталь 316L · CVD
CVD распределительная пластина для душевой головки
Отверстие ±0,005 мм · Электр. · 5 шт.
ALD распределительная пластина для газаАлюминий 6061 · ALD
ALD распределительная пластина для газа
CF порты · Анодировано · 6 шт.
Пластина газовая камеры травленияSUS316L · Травление
Пластина газовая камеры травления
Плотный массив · 4 шт.
Гидромеханическая головка душа газа для MOCVDНерж. сталь 316L · MOCVD
Гидромеханическая головка душа газа для MOCVD
Точное отверстие · 3 шт.
Распределительная пластина PECVDАлюминий 6061 · PECVD
Распределительная пластина PECVD
Многозональный · 6 шт.
Индивидуальная распределительная пластина для газаSUS316L · Индивидуальный заказ
Индивидуальная распределительная пластина для газа
НИОКР · 3 шт.
Распределительная пластина для газа эпитаксииSUS316L · Эпитаксия
Распределительная пластина для газа эпитаксии
СВВ · 2 шт.
Партия распределительных газовых пластинAl 6061 · Партия
Распределительные пластины для газа — партия
10 шт. · Сертификат He-утечки
Возможности и допуски

Что мы можем предоставить

Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.

Утечка<1×10⁻⁸ мбар·л/с (He)
Внутренний Ra0,4 мкм (электрополировка)
Допустимый диаметр отверстия.±0.005 мм
Плоскостность уплотняющей поверхности≤ 0,008 мм
Стандарты портовVCR, CF, KF, индивидуальные
Чистота частицСовместимо с ISO Класс 5
МатериалыSUS316L, Al 6061, Ti Гр.5
ЭлектрополировкаСтандарт — все контактирующие с газом
Гелиевый тест100% каждая пластина + сертификат
ОчисткаIPA ультразвук + N₂ + пакет
Срок изготовления (прототип)8–12 дней
Срок изготовления (партия)14–20 дней
Как работает

От чертежа до детали, готовой к чистой комнате

Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.

01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Включить схему отверстий, газ и класс чистоты.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатный DFM — технологичность отверстий, стратегия многозонности. Коммерческое предложение за 48 ч.
03
Механическая обработка, очистка и тестирование
ЧПУ + электрополировка, ультразвуковая очистка, КИМ, тест на герметичность He.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + очистка + сертификат герметичности He прилагаются.
Отзывы

Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников

★★★★★
"Поверхностная чистота и упаковка сразу соответствовали нашим требованиям входного инспекционного контроля чистой комнаты. Размерной отчет полностью совпал с нашим контролем CMM."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Мы уже два года закупаем обработку подложек и детали камеры у HXC. Чистота, размерная точность и партийная стабильность на высоте."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы

Пластины распределения газа — FAQ

Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.

Равномерное распределение требует: (1) Диаметр отверстия ±0,005 мм по всем отверстиям — отклонение диаметра изменяет сопротивление потоку через отдельное отверстие; (2) Точность позиционирования отверстий ±0,01 мм — обеспечивает равномерный пространственный поток; (3) Идентичное падение давления во внутренних каналах — распределительный коллектор спроектирован для одинакового сопротивления. Все три параметра проверяются КИМ.
Очистка после механической обработки: (1) Обезжиривание; (2) Электрополировка все поверхности, контактирующие с газом (Ra 0,4 мкм); (3) Ультразвуковая очистка с ИПС; (4) Промывка деионизированной водой; (5) Сушка потоком N₂; (6) Проверка с помощью УФ-лампы; (7) Упаковка в чистой комнате класса ISO 5. Сертификат по количеству частиц доступен для пластин полупроводникового класса.
Да — многозонные пластины с различной плотностью отверстий в центральной и краевых зонах (радиальное управление профилем газа) регулярно обрабатываются. Границы зон, количество отверстий и диаметры по зонам указываются на чертеже заказчика и проверяются на КИМ.
VCR уплотнение лицевая (Swagelok), CF КонФлат (ультравысоковакуумный ножевой край), KF (ISO 2861), а также индивидуальные фланцы с торцевым уплотнением. Все размеры интерфейсов обрабатываются согласно спецификации производителя и проверяются на КИМ. Смешанные типы интерфейсов на одной пластине являются обычной практикой.
Каждая пластина проходит испытание сплошной утечки методом гелиевая масс-спектрометрия: под давлением гелия сканируются все внешние поверхности и порты. Скорость утечки: 1×10⁻⁸ мбар·l/s стандарт (<1×10⁻¹⁰ УВВ). Сертификат включает измеренную скорость, дату калибровки прибора, дату теста, подпись оператора.
Да — распределительные газовые пластины с интегрированными отверстиями для нагревательных картриджей или канавками для резистивных нагревателей обрабатываются в том же процессе, что и газовые каналы. Допуск положения отверстия для нагревателя: ±0,1 мм от стенки газового канала (минимальный зазор проверяется при DFM). Доступны отверстия для установки термопар.
Стандартное механическое сверление: Ø0,2 мм минимум. Для отверстий менее Ø0,2 мм используется прецизионное микро-сверление или электроэрозионное сверление. Ограничение по соотношению сторон (глубина ÷ диаметр): 10:1 для сверления, до 50:1 для электроэрозионного сверления. Допуск на диаметр отверстия сохраняется ±0,005 мм независимо от метода.
Прототип: 8–12 дней. Партия: 14–20 дней. UHV пластины с тестом на утечку 200): добавить 2–4 дня.
Получить предложение

Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.

Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.

24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015 Фрезерование 3/4/5 осей Токарная обработка на станках с ЧПУ CMM-инспекция Глобальная доставка