info@hxcnc.com Shenzhen, Xitoy 24 soat ichida javob berish
ISO 9001 : 2015 Darhol narxni olish
Bosh sahifa/ Mahsulotlar/ Yuqori aniqlikdagi bo'shliq, suyuqlik va kollektor komponentlari
Mahsulot Kategoriyasi
HFM — 001 dan 020 gacha

Aniq suyuqlik
& kollektor
Komponentlar

20 ta mahsulot liniyasi — gidravlik va pnevmatik kollektorlar, vakuum kameralari, sovutish plitalari, aniqlik valf korpuslari, nozul bloklari, nasos korpuslari, mikro-kanal plitalari va yuqori integritetli yopingchi ulashuvchilar. Ichki geometrikasi, sirt silliqligi va chiroqlik qoplamasi detalni belgilaydi.

Sirt tekisligi ±0.003 mm qoplama yuzalarida va mos keladigan yuzalarda
300 bargacha chiroqlik testi gidravlik, 10⁻⁸ mbar·l/s neytral gaz uchun vakuum
Ra 0,4 μm kuyish va spool yuzalarida valf va nasos korpuslari uchun
Maxsus port joylashuvi DXF yoki 3D modeldan — faqat standart bo'lmagan mahsulotlar
Aniq hidravlik manifold valf korpusi CNC ishlangan
Qopqoq yuzasining tekisligi
±0,003 mm
Neytral gaz chiroqlik darajasi
10⁻⁸ mbar·l/s
20
Mahsulot yo‘nalishlari
±0,003mm
Chiroqlik tekisligi
300quti
Gidravlik sinov
Ra 0.4μm
Kuyish silliqligi
24hr
Narxni tasdiqlash vaqti
Gidravlik manifold bloklari ✦ Pnevmatik kollektor bloklari ✦ Havza Manifoldlari ✦ Suyuqlik taqsimlash bloklari ✦ Sovutish kanali plitalari ✦ Suyuqlik sovutgich plitalar ✦ Aniq valf korpuslari ✦ Kranlar va o'rindiqlar ✦ Proportsional valf qismlari ✦ Nozzle bloklari va o'rindiqlar ✦ Pomp qobig'i qismlari ✦ Micro-Channel Plitalar ✦ Yarim O‘tkazgich Gaz Ta’minoti Plitalari ✦ Vakuum Kamerasi Qismlari ✦ Yuqori ishonchlilikdagi yopingan ulashuvchilar ✦ Gidravlik manifold bloklari ✦ Pnevmatik kollektor bloklari ✦ Havza Manifoldlari ✦ Suyuqlik taqsimlash bloklari ✦ Sovutish kanali plitalari ✦ Suyuqlik sovutgich plitalar ✦ Aniq valf korpuslari ✦ Kranlar va o'rindiqlar ✦ Proportsional valf qismlari ✦ Nozzle bloklari va o'rindiqlar ✦ Pomp qobig'i qismlari ✦ Micro-Channel Plitalar ✦ Yarim O‘tkazgich Gaz Ta’minoti Plitalari ✦ Vakuum Kamerasi Qismlari ✦ Yuqori ishonchlilikdagi yopingan ulashuvchilar ✦
To‘liq mahsulot assortimenti

20 ta yuqori aniqlikdagi suyuqlik va manifold
Mahsulot yo‘nalishlari

Har qanday toifani kengaytirish uchun bosing · Barcha qismlar chizma bo'yicha ishlangan · MOQ 1 dona · Yig'ilish sinovi kiritilgan

Barcha mahsulotlarni so'rang →
Manifold bloklari 4 ta mahsulot · HFM-001 dan 004 gacha 316SS · Al6061 · Po'lat · PEEK +

Hidravlik, pnevmatik, vakuum va suyuqlik taqsimoti manifold bloklari qattiq blokdan ishlangan — trubka va moslamalarni almashtirib, yagona yirtiqsiz monolitik blok bilan. Ichki kesma burg'ulashlar, port yuzasi yopingan sirtlar va kartridj valf bo'shliqlari bitta qismda ishlangan. O-ring yuzasi yoping (ORFS), SAE, BSP, NPT va metrik port standartlari so'rov bo'yicha mavjud.

Hidravlik manifold bloki CNC ishlangan qattiq billet
MANIFOLD BLOKLARI / HFM-001 — AJRALIB TURADI
Gidravlik manifold bloklari
Qattiq po'lat yoki zanglamaydigan po'latdan tayyor maxsus hidravlik manifoldlar — truba va moslama quvurlashni yagona monolitik blok bilan almashtirish. Ichki kanallar, kartridj valf bo'shliqlari va port yuzasi yopingan sirtlar burg'ulangan. Ish bosimi 420 bargacha standart; so'rov bo'yicha 700 bar. Ish bosimidan 1.5× bosimga gidravlik bosim sinovi va hujjat bilan. Past bosimli tizimlar uchun 6061 alyuminiyda yoki yuqori bosimli xizmat uchun 316SS va 4140 po'latda mavjud.
Gacha 420 bar Kartridj bo'shliqlari Bosim sinovidan o'tgan SAE / BSP / NPT portlar
4140 · 316SS · Al6061 · Duktile temir Taklif olish
HFM — 002
Pnevmatik kollektor bloklari
Gacha 16 bar Bosish portlari
Al6061 · SS · POM · Nilon
HFM — 003
Havza Manifoldlari
Helyum yori tekshirilgan KF / ISO-K flanşlar
316SS · Al6061 · OFHC mis
HFM — 004
Suyuqlik taqsimlash bloklari
Ko‘p chiqishli Moslashtirilgan burilish naqshlari
SS316L · Al · PEEK · Delrin
Termal boshqaruv — Sovutish plitalari va sovuq plitalar 2 ta mahsulot · HFM-005 dan 006 gacha Al6061 · Al6063 · Cu · SS +

Elektronika termal boshqaruvi uchun sovutish kanali plitalari va sovuq suyuqlik plitalari, lazer tizimlari, quvvat modullari va EV batareyasi sovutish. Ichki sovutish kanallari frezalash yoki chuqur burg‘ulash orqali ishlab chiqarilgan, so‘ngra brazing, friktsiya-stirli payvandlash yoki vint bilan yopilgan. O‘rnatish yuzasining tekisligi ±0.005 mm, issiqlik bilan ishlovchi komponent bilan yaqin termal kontaktni ta’minlash uchun. Yetkazib berishdan oldin 1.5× ish bosimida yoriq tekshirilgan.

Suyuqlik sovutish plitasining sovutish kanali alyuminiy CNC ishlangan
TERMAL / HFM-005 — XUSUSIY
Suyuqlik sovutgich plitalar
Yuqori samarali suyuqlik sovuq plitalari Al6061 yoki Al6063 dan frezalangan bo‘lib, ichki serpantin yoki parallel sovutish kanallari bilan. Yopishqich platasini brazing, friktsiya-stirli payvandlash yoki vakuum-brazing bilan doimiy yoriqsiz yig‘ish uchun. O‘rnatish yuzasi ±0.005 mm tekislikka maydalangan, past termal qarshilik bilan kontakt uchun. Termal simulyatsiya ma’lumotlariga asoslangan moslashtirilgan kanal naqshlari. IGBT modullari, lazer diodli panellar, EV inverterlari va GPU sovutish yig‘ilmalari uchun ishlatiladi.
±0.005mm O‘rnatish yuzasi Foydalanuvchi / Bo'shliq Braze Bosim sinovidan o'tgan Moslashtirilgan kanal naqshlari
Al6061 · Al6063 · Cu · Al-SiC Taklif olish
HFM — 006
Sovutish kanali plitalari
Chuquvchi kanallar Ball-plug yopilgan
Al6061 · Po'lat · SS · Mis
Kuzovlar va valf komponentlari 4 Mahsulot · HFM-007 dan 010 gacha 316SS · Mis · Bronza · PEEK · 4140 +

Aniq valf korpuslari, spool bo'shliq, valf o'rindiqlari va nisbatli valf komponentlari, ularning bo'shliq doirasi, silindrlik va sirt yakunlari to'g'ridan-to'g'ri valfning oqishi va spool g'ijimligini belgilaydi. Spool bo'shliq H6 toleransiga ega, doirasi ≤0.003 mm. O'rindiq burchaklari va o'rindiq kontakt yuzlari chizma bo'yicha ishlangan. Barcha valf qismlari tozalanib, qirqilgan va ifloslanishga tekshirilgan, yetkazib berishdan oldin.

Aniq valf korpusi CNC ishlangan spool bo'r
VALF / HFM-007 — AJRALIB TURADI
Aniq valf korpuslari
Yo'nalishni boshqarish, bosimni kamaytirish, tekshirish va oqimni nazorat qilish valflari uchun maxsus valf korpuslari. Spool bo'shligi H6/H7 toleransiga mos ravishda ishlangan; doirasi va silindrlik ≤0.003 mm. Ichki o'qiladigan teshiklar ISO tozalash sinfi NAS 1638 yoki ISO 4406 bo'yicha qirqilgan, so'rov bo'yicha. Port tishlari va yuzaki yopingan joylar bir sozlashda ishlangan, mukammal moslik uchun. Ish bosimi standart bo'yicha 350 bargacha.
H6 Spool Bo'shligi Dairasi ≤0.003mm NAS 1638 Tozaligi 350 bargacha
4140 · SS316 · Duyg'udosh Temir · Mis
HFM — 008
Valf spoolari
h5 OD toleransi Qattiq xrom variant
4140 · 52100 · SS440C
HFM — 009
Klaplar o'rindig'i
Yopilgan yopingan yuzasi Burchakli konusli maydalangan
440C · Stellite · Keramika · SS
HFM — 010
Proportsional valf qismlari
Sub-mikron burma Tozalash xonasida qadoqlangan
Nozzlar, oqimni boshqarish va nasos qismlari 4 ta mahsulot · HFM-011 dan 014 gacha SS · Brass · Bronze · PEEK · Keramika +

Nozzle bloklari, aniq oqimni boshqarish uchun orifislar, nozzle o'rindiqlari, va nasos korpusi qismlari, orifis diametri, o'rindiq geometriyasi va ichki yo'l yuzasi sirtining yakuniga qarab oqim xususiyatlari aniqlanadi. Orifis diametri 0.1 mm dan yuqori. Nozzle o'rindiq konusi burchagi ±0.02° ga saqlanadi. Nasos korpusi burmalari gear, vane va piston nasoslar uchun H6/H7 ga ishlov berilgan va port yuzalarida tekislik bilan.

Nozzle blok oqim nazorati orifisi aniq CNC
NOZZLE VA NASOS / HFM-011 — AJRALIB TURADI
Nozzle bloklari va oqimni boshqarish qismlari
Ko'p portli nozzle bloklari va aniq oqimni boshqarish orifislar uchun insertlar, spreylash tizimlari, yonilg'i injektsiyasi, sanoat tozalash va yarimo'tkazgich jarayon gazlarini yetkazib berish uchun. Orifis diametri 0.10 mm dan 10 mm gacha, ±0.005 mm ga saqlanadi. Ichki yo'l yuzasi sirtining Ra ≤0.4 μm, aniq burilish va yuvish bilan. Passivlangan zanglamas po'lat standart; korroziyaga chidamli gazlar va agressiv kimyoviy moddalar uchun Hastelloy, PEEK va titan.
Orifis ±0.005mm Ra ≤0.4 μm 0.10mm diametrdan boshlab Passivlangan SS
SS316L · Hastelloy · PEEK · Ti Taklif olish
HFM — 012
Aniq oqimni boshqarish qismlari
Kalibrlangan orifis Cv sertifikatlangan
SS · Brass · PEEK · Keramika
HFM — 013
Nozzle Seat Bodies
Taper burchagi ±0.02° Yopiq o'rindiq
SS303 · Brass · Bronze · Keramika
HFM — 014
Pomp qobig'i qismlari
H6/H7 teshiklar Port yuzasi tekisligi
Al · Temir · SS · Qaynatilgan temir
Yarim o'tkazgich, vakuum va yuqori ishonchlilikdagi yoping qismlar 6 ta mahsulot · HFM-015 dan 020 gacha Al6061 · SS316L · OFHC Cu · PEEK · PFA +

Micro-kanal plitalar, yarim o'tkazgich jarayon gaz taqsimlash plitalari, ultra yuqori vakuum kamerasining qismlari, bo'shliq qopqog'i plitalari, yoping yuzasi komponentlari va yarim o'tkazgich ishlab chiqarish, toza xona instrumentatsiyasi va UHV tadqiqot tizimlari uchun ko'p portli yuqori ishonchlilikli ulashlar. Elektropolished ichki sathlar, helium yoriq tekshirilgan va toza xona sharoitida qadoqlangan. Barcha namlangan sathlar korroziy jarayon gazlariga (HCl, F₂, Cl₂, NF₃) mos keladi va elektropolished 316L yoki PFA qoplangan alyuminiyda mavjud.

Semikonduktor gaz taqsimoti plitasi vakuum kamerasining CNC aniq ishlangan
YARIM O'TKAZGICH VA VAKUUM / HFM-015 — AJRALIB TURADI
Yarim O‘tkazgich Gaz Ta’minoti Plitalari
Aniq gaz taqsimlash plitalari (duşlik plitalari) CVD, ALD va o'yma kameralari uchun — jarayon gazini vayoaga tarqatadigan doimiy teshilgan mikro-oraqlar massivlari. Orifis diametri doimiyligi ±0.005 mm plitalar bo'ylab. Elektropolished 316L ichki sathlar Ra ≤0.25 μm. Helium yoriq testi 10⁻⁹ mbar·l/s da. F₂, Cl₂, NF₃, HCl va boshqa korroziy jarayon gazlariga mos keladi. Yakuniy tekshiruvdan so'ng toza xona qadoqlash.
Orifis Doimiyligi ±0.005mm Ra ≤0.25 μm EP Helium yoriq testi 10⁻⁹ Toza xona qadoqlash
316L EP · Al6061 · Hastelloy · Inconel Taklif olish
HFM — 016
Micro-Channel Plitalar
0.3mm dan kanal Micro-EDM variant
Al · SS316L · PEEK · Ti
HFM — 017
Vakuum Kamerasi Qismlari
UHV bilan mos Conflat / KF flanşlar
316L · Al6061 · OFHC mis
HFM — 018
Kamerali yopilish plitalari
±0.003 mm tekislik O-ring yivasi
Al · SS · PEEK · Ti
HFM — 019
Yoping yuzasi qismlari
Ra ≤0.1μm lapped Tekislik sertifikati
SS · Invar · Keramika · Po'lat
HFM — 020
Ko'p portli yuqori ishonchlilik bilan yopishuvli ulashlar
24 gacha port Havo yostig'i bilan sinovdan o'tgan
SS316L · Al · PEEK · Hastelloy
Ishlab chiqarish imkoniyatlari

Manifold va nima qiladi &
Kavitani ishlov berish Farqli

⚙
Chuqur teshikli burg'ulash va kesishgalereya kesishlari
Manifold bloklaridagi ichki galereyalar uchun chuqur teshikli burg'ulash L/D 30:1 gacha bo'lishi kerak, kesishgalereyalarni chuqurlikda 0.1 mm ichida aniq kesib o'tadi. Uzun to'g'ri bo'shliqlar uchun qurol burg'ulash; Kattaroq diametrlar uchun BTA burg'ulash. Har qanday bosim sinovidan oldin to'p plomba yoping va kesish teshiklarini silliqlash amalga oshiriladi.
L/D 30:1 Qurol burg'ulash / BTA Kesish teshiklarini silliqlash To'p plomba yoping
📐
Yopish yuzasi tekisligi va sirt yakuniyligi
O-ring yuz yoping va metalldan-metallga yopish yuzalari tekislik ±0.003–0.005 mm va sirt yakuniyligi Ra ≤0.8 μm talab qiladi. Yuz yoping sirtlari avval frezalash, so'ngra tekislash yoki lapping bilan spetsifikatsiyaga muvofiq tayyorlanadi. Tekislik CMM yordamida va sirt qovurish profilometr yordamida har bir yopish yuzasidan yetkazib berishdan oldin tekshiriladi.
±0.003 mm tekislik Ra ≤0.8 μm yopish CMM + profilometr
🔬
Kuzov va spool bo'shliqlarining aniq yakuniyligi
Yo'nalishni boshqarish va nisbatli valflar uchun spool bo'shliqlari H6 toleransiga (odatda ±0.008 mm 20 mm bo'shliqda) ega bo'lib, aylanishligi ≤0.003 mm va silindrlikligi ≤0.005 mm. Bu reaming, aniq boring va honing ketma-ketligi bilan amalga oshiriladi. Honing lobing va asbob izlarini olib tashlaydi, spool yog'lovchi moddani saqlab qoladigan kesish xatchi naqshini qoldiradi.
H6 qarshiligi Dairasi ≤0.003mm Honing xatchi naqshi
💨
Bosim va Helium yoriqlash testi — Hujjatlangan
Hidravlik manifoldlar 1.5× ishchi bosimiga bosim sinovidan o'tkaziladi va hujjatli test hisobotiga ega. Vakuum va yarimo'tkazgich komponentlari helium massaspektrometr yoriqlash testi 10⁻⁸ mbar·l/s standartiga muvofiq o'tkaziladi (so'rov bo'yicha 10⁻⁹). Har bir qism alohida seriyali va test natijalari yozib olinadi. Hech qanday qism yoriqlash testi sertifikati bo'lmagan holda yetkazib berilmaydi.
Hidravlik 1.5× WP He 10⁻⁸ mbar·l/s Individual sertifikat
🧪
Suyuqlik mosligi uchun Elektropolishing va Passivatsiya
SS316L yarimo'tkazgich komponentlarining ichki sathlari Ra ≤0.25 μm ga elektropolished qilinadi, jarayon gaziga moslik va zarracha kamaytirish uchun. ASTM A967 yoki AMS 2700 bo'yicha passivatsiya gidravlik va kimyoviy jarayon qismlari uchun. Alyuminiy qismlar anodlangan (Type II) yoki qattiq anodlangan (Type III) bo'lib, sovutish va pneumatika ilovalari uchun korroziyaga qarshi.
Elektropolish Ra ≤0.25μm ASTM A967 passivatsiya Qattiq anodlash Type III
🏭
Tozalashni yuvish va tozalash xonasi qadoqlash
Gidravlik manifoldlarning barcha ichki o'tish joylari ISO 4406:2021 Class 17/15/12 yoki NAS 1638 Class 6 tozalikka mos ravishda yuviladi. Yarimo'tkazgich va vakuum komponentlari tozalash xonasida tozalanadi va azot bilan ikki qoplangan holda paketlanadi. Zarracha hisoboti sertifikati yarimo'tkazgich jarayon gaz qismlari uchun mavjud.
ISO 4406 Sinf N₂-purga qadoqlash Zarracha hisoboti sertifikati
Aniqlik spetsifikatsiyalari

Toleransiyalar va muhrlash spetsifikatsiyalari — Barcha mahsulot liniyalari

📐
Xususiyat turiga qarab erishilishi mumkin bo'lgan toleransiyalar
Qopqoq yuzasining tekisligi
±0,003 mm
Spool qudugi H6
±0,008 mm
Bo‘shliq aylana shakli
≤0.003 mm
Sovuq plita o'rnatish
±0,005 mm
O'rif diametri
±0,005 mm
Quvurlar sathining Ra
Ra 0,4 μm
Muhri yuzasining Ra
Ra 0.8 μm
EP Yuzaki Ra
Ra 0.25 μm
💨
Bosim va yuvilish sinovlari spetsifikatsiyalari
Hydravlik manifoldlar
420 quti
Maksimal ishlash bosimi standarti; 700 bar mavjud. Sertifikat bilan 1.5× WP da sinovdan o'tgan.
Pneumatik manifoldlar
16 quti
Standart pneumatika ishlash bosimi. 2× WP da havo oqishi testi kiritilgan.
Vakuum qismlari
10⁻⁸ mbar·l/s
Uilyum massas spektrometri bilan oqish testi. UHV ilovalari uchun 10⁻⁹ mavjud.
Semiconductor Gaz
10⁻⁹ mbar·l/s
UHV oqish tezligi jarayon gaz plitalari uchun. He oqishi testi o'tkazilgan, toza xona qadoqlangan.
Sovutish plitasi sovutish
10 quti
Standart sovutish suyuqligi tsirkuli ishlash bosimi. Hydravlik oqish testi 15 bar da.
Hydravlik tozaligi
NAS 6
NAS 1638 Sinf 6 so'rov bo'yicha. ISO 4406:2021 Sinf 17/15/12 standarti.
Yuzaki muolajalar

Yuzaki qoplamalar va ishlov berishlar uchun Suyuqlik mosligi

Ichki va tashqi yuzaki ishlov berishlar suyuqlik muhitiga, ishlash bosimiga va kimyoviy moslikka mos ravishda.

SFT / 01
✦
Elektropolishing (EP)
316L SS yuzalaridan elektrolitik material olib tashlash. Ra machined 0.8 μm dan EP ≤0.25 μm gacha. Ichiga joylashgan zarrachalar va mikro-teksturani olib tashlaydi. Semiconductors jarayon gaz yuzalari uchun zarur.
Yarim o‘tkazgichUHVSS316L
SFT / 02
🛡
Passivatsiya (ASTM A967)
Nitrik yoki sitrik kislota passivatsiyasi zanglamaydigan po'latni. Bo'yalgan sirtidan erkin temirni olib tashlaydi; barqaror Cr₂O₃ passiv qavat hosil qiladi. Oziq-ovqat, farmatsevtika va korroziyaga chidamli media gidravlik qismlar uchun zarur.
Oziq-ovqat / FarmatsevtikaKimyoviySS barcha toifalari
SFT / 03
🔩
Qattiq anodizlash (Type III)
Aluminiyda qalin oksid qavati (25–75 μm). Qattiqligi 400–600 HV. Korroziyaga chidamlilik va aşınishga qarshi himoya uchun PTFE bilan impregnatsiya qilingan anodiz bilan yopilgan yivlar va pnevmatik blok yuzalari.
PnevmatikSovutish plitalariAl metallari
SFT / 04
🌊
Honing (Kross-Hatch)
Kuzov bo'shlig'ining aniq honingi. Yog'ni ushlab turish uchun kross-hatch naqsh hosil qiladi. Burilishdan kelib chiqadigan aylana va loblarni to'g'rilash. Yakuniy bo'shliq tolerantligi H6 va Ra 0.2–0.4 μm.
Valf spoolariPompalar bo'shlig'iTemir / SS
SFT / 05
💎
Lapping (Yopish yuzlari)
Metallga metall yopish yuzlarini Ra ≤0.1 μm va tekislik ≤0.001 mm (1 yengil chiziq) ga teng bo'lish uchun tekis lapping. Pichoq-chegara yopiqlari, metall qoplama yopiqlari va noldan oqib ketmaslikni talab qiladigan aniq asbob yopish yuzlari uchun ishlatiladi.
UHV flanjlarMetall yopiqlariSS / Invar
SFT / 06
🧪
Nikel PTFE qoplamasi
Pastki qarshilik, korroziyaga chidamli ichki sirtlar uchun PTFE zarrachalari bilan birga elektroless nikel ko-depositsiyasi. Alüminium valf korpuslari, nasos korpuslari va suyuqlik taqsimlash bloklarida ishlatiladi, u yerda yalang'och alüminium korroziyaga uchraydi.
Alüminium Valf KorpuslariPomp korpuslariAl metallari
SFT / 07
⚗
PVDF / PFA Yopishqoq
Alüminium manifold bloklari uchun fluoropolimer qoplama, juda korroziyaga chidamli gazlar bilan ishlatiladi (HF, HCl, kuchli kislotalar). PFA yoki PVDF insert bilan ishlangan alüminium blok — yengil vazn va kimyoviy qarshilikni birlashtiradi.
Yarim o‘tkazgichKorroziyaga Uchraydigan GazAl + PFA
Xizmat ko‘rsatiladigan sanoatlar

Aniq Suyuqlik Qismlari Keng Tarqalgan Har Bir Suyuqlik Tizimi

💡
Yarim o‘tkazgich
Gaz plitalari · Vakuum kameralari
⚙
Gidravlika
Manifoldlar · Valf korpuslari
🏥
Tibbiyot
SS manifoldlar · Aniqlik valflari
🔋
Elektronika Sovutish
Sovuq plitalar · Kanal plitalar
⚗
Kimyoviy Jarayon
Hastelloy · PEEK qismlari
✈
Havo kosmik
Ti · SS manifoldlar
Bizning ustunligimiz

Nima uchun Suyuqlik Tizimi Muhandislari Bizning Manifold Qismlarimizni Aniq Belgilash

Chiqish
Har bir qism yirtiq testi o'tkazildi — Sertifikat bilan birga
Hidravlik manifold, vakuum komponenti yoki suyuqlik bloki hujjatlashtirilgan yirtiq testi bo'lmasdan yetkazib bermaydi. Hidravlik bosim testi 1.5× ish bosimiga; heliummassa spektrometri vakuum va semikonduktor qismlari uchun. Test sertifikati qism bilan birga yuboriladi — so'rov bo'yicha mavjud emas, standart sifatida kiritilgan.
Chuqur
Chuqur-teshik burg'ulash va kesish galereyasi aniqligi
L/D 30:1 gacha bo'lgan ichki galereyalar va kesish galereyalari — manifold ishlov berishda eng qiyin bo'ladigan ikki xususiyat — bizning standart imkoniyatimiz. Qurol burg'ulash, BTA va koordinal ko'p o'qi kesish moslamasi bilan manifold blokingiz aniq ishlab chiqilganidek ishlaydi.
EP
Elektr-polished semikonduktor darajasidagi sirtlar
Gaz taqsimoti plitalari va vakuum komponentlari Ra ≤0.25 μm ga elektr-polished va heliym yirtiq testi 10⁻⁹ mbar·l/s ga ichki muhitda. Azot bilan tozalash xonasida qadoqlash. Bir ta'minotchidan to'liq semikonduktor jarayon gaz ta'minoti zanjiri.
O'qi
H6 spool bo'rlar honlangan kesish bilan
Kuzov valfining spool bo'rlari H6 toleransiga ega, aylanishi ≤0.003 mm va moy saqlash uchun kesish honlangan yuzasi bilan. Ishlaydigan yo'nalishli boshqaruv valfini yirtiqdan ajratadigan tafsilot — biz uni har bir valf korpusi buyurtmasida standart sifatida taqdim etamiz.