info@hxcnc.com Shenzhen, Xitoy 24 soat ichida javob berish
ISO 9001 : 2015 Darhol narxni olish
Yarim o'tkazgich uskunalari

CNC ishlov berish yechimlari uchunYarimo‘tkazgich uskunalari komponentlari

Vakuum tizimlari, vafеni boshqarish uskunalari, suyuqlik nazorati modullari va tozalash jarayonlari yig‘ilmalari uchun aniq ishlangan komponentlar.

Biz vakuum kamerasining qismlari, gaz taqsimlash plitalari, vafеni boshqarish qurilmalari, manifold bloklari va yuqori tekislikdagi montaj strukturalarini ishlab chiqaramiz — nazorat qilingan sirt yakunlari, toza qadoqlash va to‘liq o‘lchov hujjatlari bilan.

Yarimo‘tkazgich uskunalari komponentlari
Yarimo‘tkazgich uskunalari komponentlari
Ra 0.4 μm · ±0.005 mm · Toza-qadoqlangan
Ra 0,4 μm
Ichki Sirt Yakunlari
±0,005 mm
Kritik Toleransiyalar
6061 / 7075 / 316L
Yadro Materiallari
10–21 kun
Yetkazib berish vaqti
Sanoat muammolari
Ushbu sanoatda ishlab chiqarish muammolari

Mijozlarimiz ushbu sanoatda eng koʻp duch keladigan ishlab chiqarish muammolari — va biz har birini qanday hal qilamiz, ular yigʻish liniyangizda muammo boʻlishidan oldin.

Yarimo'tkazgich aniq uskunalar komponentlari

Yuqori tekislik va aniqlik talablari

Vafеni tutuvchi interfeyslar, vakuum yoping flanjlari va kameralarning bog‘lanish sirtlari 0.01 mm ichida tekislik va sirt qovurishi Ra ≤ 0.4 μm bo‘lishi shart. Standart frezalash etarli emas — biz bu talablarni doimiy ravishda qondirish uchun maydalash va lappingni birlashtiramiz.

Tozalashga sezgir ilovalar

Jarayon kameralardagi zarrachalar va sirt ifloslanishlari vafе yitkazish darajasiga ta'sir qiladi. Qismlar ifloslanish nazorati ostida ishlab chiqarilishi, tozalanishi va qadoqlanishi shart — biz buni standart yetkazib berish jarayonining bir qismi sifatida muvofiqlashtiramiz.

Uskuna interfeyslari uchun qat'iy o‘lchov nazorati

Gaz dushli boshqich teshiklarining to‘plamlari, manifold oqim yo‘llari joylashuvi va vakuum flanjining bolt doiralarining hammasi to‘g‘ri ushlab turish va yopinganlikni ta'minlash uchun qat'iy pozitsion toleranslarga javob berishi shart.

Yuqori qiymatli yig‘ilmalarda barqaror sifat

Yarimo‘tkazgich uskunalari qismlari xarajatli va yetkazib berilgandan keyin qayta ishlash qiyin. Birinchi o‘lchovdagi aniqlik va doimiy partiya sifati majburiy talablardir — ular asosiy bo‘lim hisoblanadi.

Biz ishlov beradigan qismlar
Biz ishlab chiqaradigan odatiy yarimo‘tkazgich uskunalari qismlari

Vakuum kameralari, jarayon gaz tizimlari, vafеni boshqarish va uskunaning tuzilma yig‘ilmalari uchun aniq komponentlar. Har bir qism toza qadoqlangan va to‘liq o‘lchov hujjatlari bilan yetkaziladi.

Vakuum kamerasining alyuminiy aniq qismi
Vakuum Kamara va Yopish Qismlari
Gaz taqsimoti dush bosh plitasi
Gaz taqsimlash plitalari
Yuqori tekislikdagi montaj plitasi yarimo'tkazgich
Yuqori tekislikdagi montaj plitalari
Kamera qopqog'i va ko'rish oynasi flanjlari
Kamera qopqog'i va ko'rish oynasi flanşlari
MFC montaj bloklari va gaz manifollari
MFC bloklari va gaz manifoldlari
PEEK vafer joylash ringslari
PEEK vafersini joylashtirish halqalar
Vakuum va kamera qismlari
Vakuum kameralari korpusi
Kamera qopqog'i va yopilishlar
O-ring flanş halqalar
Ko'rish oynasi flanşlari
Bellows adapterlari
Jarayon gazi qismlari
Gaz taqsimlash plitalari
Gaz kirish manifoldlari
MFC montaj bloklari
Purge port insertlari
Gaz liniyasi fittingslari
Vafers va strukturaviy qismlar
Vafersini joylashtirish halqalar
Yuqori tekislikdagi montaj plitalari
Yuqori tozalikka ega qo'llab-quvvatlovchilar
Aniqroq suyuqlik bloklari
Moslashtirish referens plitalari
Bizning afzalliklarimiz
Nima uchun ushbu sohadagi mijozlar biz bilan ishlaydi

Ushbu sanoatning haqiqiy talablariga javob beradigan maxsus ishlov berish, sifat va loyihani qo'llab-quvvatlash qobiliyatlari - umumiy da'volar emas.

Yuzaki yakunlash o'lchov profilometri
CNC aniq ishlov berish yarimo'tkazgich qismi
Tozalangan qadoqlangan aniq komponentlar
CMM tekshiruvi yarimo'tkazgich komponentlari
01
Yuzaki yakunlash va tekislik imkoniyati

Biz muhim yoping yuzalar va vafer chuk interfeyslarini Ra ≤ 0.4 μm va tekislik ≤ 0.01 mm ga maydalaymiz va silliqlaymiz — bu vakuum yoping va vafer kontaktining ishlash uchun talab qilinadigan darajalar.

02
Standart sifatida tozalangan qadoqlash

Barcha yarimo'tkazgich qismlari ultratovushli tozalanadi, alohida 100 sinf polietilen paketlarda qadoqlanadi va material sertifikatlari bilan yopiq konteynerlarda paket qilinadi. Qo'shimcha to'lov yo'q, maxsus so'rovnoma talab qilinmaydi.

03
To‘liq o‘lchovli hujjatlash

CMM birinchi maqola hisobotlari GD&T chaqiriqlari bilan — tekislik, parallelizm, haqiqiy pozitsiya, silindrlik — barcha yarimo'tkazgich uskunalari buyurtmalari uchun standart tarzda chiqariladi.

04
Barqaror sifat, kirish tekshiruvini kamaytiradi

Hujjatlangan tekshiruv jarayonimiz qismlarning o'lchamlari bilan tasdiqlangan holda kelishini ta'minlaydi. Qabul qilish tekshiruvini kamaytirish, yig'ish boshlanishini tezlashtirish, ishlov berish bilan bog'liq o'lchov muammolaridan kelib chiqadigan kamroq maydon muammolari.

Qanday yordam beramiz
Sizga qanday qilib tezroq va ishonchliroq qurishga yordam beramiz

Birinchi chizmingizdan barqaror ishlab chiqarish yetkazib berishigacha — rivojlanishingiz va ishlab chiqarish jadvalingizni nazorat qiladigan aniq jarayon.

Muhandislik ko'rib chiqish va hujjatlarni tayyorlash jarayoni
01
Chizma ko'rib chiqish va materialni tasdiqlash

Biz STEP fayllar va 2D chizmalarni ko'rib chiqamiz, material va tozalik talablarini tasdiqlaymiz va taklif berishdan oldin maxsus jarayon e'tiborini talab qiladigan xususiyatlarni belgilaymiz.

02
To'liq jarayon rejasini o'z ichiga olgan taklif

Sizga material, jarayon ketma-ketligi, yuzaki yakunlash, tozalash protokoli va qadoqlash spetsifikatsiyasini o'z ichiga olgan taklif taqdim etiladi — faqat narx emas.

03
Birinchi maqola to'liq CMM hisobot bilan

Birinchi qismlar ishlov beriladi, tozalanadi va tekshiriladi. Siz to'liq CMM o'lchov hisobotini partiyalar yetkazib berilishidan oldin olasiz.

04
Partiya yetkazib berish va izchiligi

Ishlab chiqarish partiyalari material sertifikatlari, jarayon yozuvlari va CoC bilan yetkazib beriladi. To'liq partiya izchiligi sizning yetkazib beruvchingizni malakali qilish uchun saqlanadi.

Materiallar, jarayonlar va yakuniy qoplamalar
Ushbu soha uchun nima bilan ishlaymiz

Material, ishlov berish jarayoni va sirt yakunlari taklif qilish bosqichida muvofiqlashtiriladi. Quyidagi har bir kombinatsiya faol mijoz dasturlarida tasdiqlangan.

Aniq alyuminiy, zanglamaydigan va yarimo'tkazgich materiallari
Umumiy Materiallar
6061-T6 / 7075-T6 alyuminiyKamera korpusi, montaj plitalari, manifold bloklari
316L / 304L zanglamaydigan po‘latSuyuqlik moslamalari, gaz liniyalari, namlangan komponentlar
PEEK / PTFE / PVDFMetall bilan ifloslanmagan tuzilma qismlari
Hastelloy C-276Hujumchi jarayon kimyosi ilovalari
Ishlab chiqarish jarayonlari
5 o'qli CNC frezalash
CNC burilish va yivlash
Aniq frezalash va sirtni tekislash
Micro-aylanma burg'ulash (0.3 mm+)
EDM sim kesish
Ultrasonik tozalash va passivatsiya
Yuzani ishlov berish
II tur Anodlash III turdagi qattiq anodizatsiya Elektropolish Nitrat passivatsiya Tosh bilan qum bilan tozalash Toza-paketli qadoqlash
Loyiha Ishlari
Haqiqiy Mijoz Dasturlaridan Namuna Qismlar

Ushbu sanoatdan tayyorlangan loyihalarning tanlovi. Har bir qism to'liq CMM tekshirish hisobi va material sertifikati bilan yetkazildi.

Aluminiy vakuum kamerasining korpusi
Vakuum

Aluminiy vakuum kamerasining korpusi

6061-T6 Al vakuum kamerasining ichki qavatlari anodlangan. Yopish yuzasida tekislik ≤0.01 mm, O-ring yivasi AS568 ga mos. To'liq CMM hisobot, toza paketda.

Gaz dushlik boshli taqsimlash plitasi
Gaz tizimi

Gaz dushlik boshli taqsimlash plitasi

240 ta aniqlik teshikli 6061-T6 Al dushlik boshli, ±0.01 mm pozitsiya. 100% pin o'lchov tekshiruvi. Anodlangan va toza paketda CVD uskunalari uchun OEM.

PEEK vafersini joylashtirish halqasi
Vafa bilan ishlash

PEEK vafersini joylashtirish halqasi

PEEK vafersini chekka kontakt uchun joylashtirish halqasi. ±0.005 mm diametr, Ra 0.4 μm kontakt sirt. To'liq o'lchov hisobotiga ega 50 ta partiya.

Yuqori tekislikdagi MIC-6 o'rnatish plitasi
Tuzilma

Yuqori tekislikdagi MIC-6 o'rnatish plitasi

MIC-6 qumli alyuminiy o'rnatish plitasi, 400 mm kenglikda tekislik ≤0.01 mm ga tekislangan. Anodlangan + toza paket. Uskuna integratsiyasi birinchi urinishda tasdiqlangan.

Savollar va Javoblar
Tez-tez so'raladigan savollar

Ushbu sanoatda muhandislar va ta'minot jamoalarining umumiy savollari. Javobingizni topa olmadingizmi? To'g'ridan-to'g'ri so'rang →

Biz havuz yopishtirish yuzlarini standart sifatida Ra ≤ 0.4 μm ga machinelash, maydalash va lap qilishni amalga oshiramiz. Ultra-yuqori vakuum conflat yopishtirish yuzlari so'rov bo'yicha Ra ≤ 0.1 μm ga lap qilinadi. Barcha yopishtirish yuzlari kontakt profilometre bilan o'lchanadi va natija tekshirish sertifikatida ko'rsatiladi.
Ha. Biz 6061-T6 va 7075-T6 alyuminiy kameralari korpuslarini ishlab chiqaramiz va ichki sirtlarga Type II yoki Type III MIL-A-8625 anodizini qo'llaymiz. Barcha anodlangan sirtlar yopiladi va ultratovushli tozalashdan o'tkaziladi before yetkazib berish.
Biz dush bosh teshiklarini belgilangan ketma-ketlikda ishlov beramiz: burg'ulash → chayqalish → mikro-burmalash. 100% teshik diametri tekshiruvi kalibrlangan pin o'lchagich to'plami bilan amalga oshiriladi. Ultrasonik tozalash barcha talaşlarni final qadoqlashdan oldin olib tashlaydi.
Qismlar ultratovushli tarzda deionizatsiyalangan suv va IPA bilan yuviladi, laminar oqim ostida quritiladi va ikki qavatli polietilen paketlarda qadoqlanadi. Tozalikka tekshirish SEMI F57 bo'yicha mavjud bo'lib, so'rov bo'yicha taqdim etiladi.
Ha. Biz PEEK, PTFE va PVDF ni yarimo'tkazgich ilovalari uchun ishlaymiz, bunda metall kontaminatsiyasi xavfi bo'lmasligi kerak. PEEK ±0.01 mm ga mos keladi va CVD, o'rash va CMP uskunalarida ishlatiladigan ko'pgina jarayon kimyoviy moddalariga chidamli.
Ha. Biz har bir partiya uchun material sertifikatlari, jarayon yozuvlari, CMM hisobotlari, tozalash tekshiruvi va CoC taqdim etamiz. Bu hujjatlarni to'plami yarimo'tkazgich uskunalari ishlab chiqaruvchisi ta'minotchisi malakasi talablarini qo'llab-quvvatlaydi.
Taklif oling

Chizmachingizni yuboring.
Taklif oling.

Har bir so'rov DFM ko'rib chiqishni o'z ichiga oladi — tolerans imkoniyatlari, material tasdiqlash va ishlab chiqarish boshlashdan oldin jarayon yondashuvi tasdiqlanadi. MOQ 1 dona.

24hr
Taklifga javob
Minimal buyurtma miqdori 1
Prototiplar OK
ISO
9001:2015
📐
Har bir so'rovda DFM ko'rib chiqish
Tolerans imkoniyatlari, jihozlash strategiyasi va material tasdiqlash. Aniq, amalga oshiriladigan fikr-mulohaza — umumiy qarshilik emas.
🎯
Birinchi maqola inspeksiyasi — Standart
Har bir yangi seriya uchun FAI hisobot. Material sertifikatlari va sirt muolajasi sertifikatlari har bir yetkazib berishda kiritilgan.
🔄
Xuddi shunday jarayon: Prototipdan ishlab chiqarishga
Sizning prototipingizdan ishlab chiqarish partiyalariga amal qiladigan jarayon rejasi. Skalirovka qilganda qayta malakali qilish shart emas.
3 / 4 / 5-o‘qli CNC + Tokarlik
Murakkab tuzilma qismlari, shaftlar, korpuslar va uzatish komponentlari. Metall va muhandislik plastmassalari.
ISO 9001:2015 3/4/5-Axis Frezalash CNC aylanma CMM tekshiruvi Global yetkazib berish