Mahsulot Kategoriyasi
Orifis ±0.005 · Ra 0.4 · He-Leak 1e-8 · Ko‘p-Zonali · MOQ 1
GDP / 001 — 010
Ultra-Toza CNC
Gaz taqsimlash plitalari
Ultra-tozalgan CNC ishlov berilgan yarimo‘tkazgich gaz taqsimlash plitalari — ichki oqim kanali Ra 0.4 µm, orifis diametri ±0.005 mm, orifis joylashuvi ±0.01 mm, yoping yuzasi tekisligi ≤ 0.008 mm, helium oqishi rate < 1×10⁻⁸ mbar·l/s. CVD, ALD, o‘ymakorlik va MOCVD jarayon kamerasiga gaz yetkazib berish uchun — markaz+chekka orifis zichligi nazorati bilan ko‘p-zonal konfiguratsiyalarni o‘z ichiga oladi.
±0.005mm
Orifis Diametri.
Ra 0.4µm
Ichki Ch.
1e-8
He-Leak
QISM CHIZMASI · GDP-001 DUŞ HEAD · SUS316L EP · Ra 0.4 · He-LEAK 1e-8
ISO 9001 · ELEKTROPOLISH · CMM
Orifis ±0.005
Ko‘p-Zonal zichlik
CVD · ALD · O'chirish · MOCVD · PECVD · Epitaksiya
Ilovalar
SUS316L EP · Al 6061 · Ti Gr5
Materiallar
48hr Narxlar · 8-Kun Proto · MOQ 1
Xizmat
<1×10⁻⁸
Chiqib ketish tezligi
mbar·l/s He testi
mbar·l/s He testi
±0.005mm
O'rif diametri
aniq burg'ulangan
aniq burg'ulangan
Ra 0.4µm
Ichki Kanal
elektropolished
elektropolished
8 Kun
Eng Tez Yetkazib Berish
Prototip buyurtmalar
Prototip buyurtmalar
Ishlov berish muammolari
Gaz taqsimoti plitalari muammolari
Yadro texnologiyasi jarayon kameralari uchun gaz taqsimoti plitalari tozaligi, oqim birxilligi va uzilishlarning yaxlitligi bo'yicha eng talabchan kombinatsiyani talab qiladi.
💨
Jarayon birxilligi uchun teshik birxilligi
Noto'g'ri teshik diametrlari chipda gaz oqimini notekis qiladi — bu film qalinligi yoki o'chirish tezligini beqiyos ravishda ta'sir qiladi. HXC teshik diametrini ±0,005 mm barcha teshiklar bo'ylab, CMM yoki optik mikroskop bilan tekshirilgan.
🧼
Ultra-toza ichki kanallar
Jarayon gazlari ishlab chiqarish qoldiqlari bilan ifloslanmasligi kerak. Barcha ichki kanallar Ra 0.4 µm ga elektropolished qilingan, ultratovushli IPA bilan tozalangan va helium bilan yoriq tekshirilgan. Qolgan qoldiq gaz chiqarib, jarayon muhitiga chiqariladi.
🔒
Yoqilmaydigan yalıtım interfeyslari
Jarayon kamerasining gaz taqsimlash plitalari vakuumdan bir nechta bar bosimgacha ishlaydi. Har bir yalıtım interfeysi yoriq tekshirilishi kerak <1×10⁻⁸ mbar·l/s kamaraga o'rnatilishidan oldin.
Bizning ishimiz
O'xshash qismlarni so‘rash →
Biz tayyorlagan Gaz Taqsimlash Plitalari
Haqiqiy CNC ishlov berilgan yarimo‘tuvchi komponentlar — tozalangan, tekshirilgan va tozalash xonasida qadoqlangan.
SUS316L · CVDCVD Yuvish Bosh Plitasi
Oqim ±0.005mm · Elektr. · 5 ta
Al 6061 · ALDALD Gaz Taqsimlash Plitasi
CF portlar · Anodlangan · 6 ta
SUS316L · OʻymakorlikOʻymakorlik Kamara Gaz Plitasi
Qalin massiv · 4 ta
SUS316L · MOCVDMOCVD Gaz Yuvish Bosh Boshqaruvi
Aniq oqim · 3 ta
Al 6061 · PECVDPECVD Taqsimlash Plitasi
Ko‘p zonali · 6 dona
SUS316L · MaxsusMoslashtirilgan Gaz O‘tkazgich Plitasi
Ilmiy-tadqiqot · 3 dona
SUS316L · EpitaksiyaEpitaksiya Gaz Taqsimlash Plitasi
UHV · 2 dona
Al 6061 · PartiyaGaz Taqsimlash Plitalari — Partiya
10 dona · He-kerak sertifikati
Qobiliyatlar va toleranslar
Biz taqdim etishimiz mumkin
Oddiy spetsifikatsiyalar — aniq talablarni so'rovda tasdiqlang.
| Oqish tezligi | <1×10⁻⁸ mbar·l/s (He) |
| Ichki Ra | 0.4 µm (elektropolished) |
| O‘roq diametri tol. | ±0,005 mm |
| Qoplamaning yuzasi tekisligi | ≤ 0.008 mm |
| Port standartlari | VCR, CF, KF, moslashtirilgan |
| Zarra particle tozaligi | ISO Sinf 5 bilan mos keladi |
| Materiallar | SUS316L, Al 6061, Ti Grade 5 |
| Elektropolish | Standart — barcha gaz bilan yuvilgan |
| Helium testi | 100% har bir plita + sertifikat |
| Tozalash | IPA ultratovushli + N₂ + sumka |
| Yetkazib berish vaqti (prototip) | 8–12 kun |
| Yetkazib berish vaqti (partiya) | 14–20 kun |
Qanday ishlaydi
Chizimdan tozalash xonasiga tayyor qismgacha
Chizimingizni yuklang — DFM ko‘rib chiqish, ishlov berish, tozalash, tekshirish va tozalash xonasida qadoqlash belgilangan muddat ichida.
01
Chizmani yuklang
STEP, DXF, PDF. O‘roq joylashuvi, gaz va tozalash sinfini o‘z ichiga oladi.
02
DFM va Narxni belgilash
Bepul DFM — o‘roq ishlab chiqarish imkoniyati, ko‘p zonali strategiya. 48 soat ichida narxni taklif qiling.
03
Mashina, Tozalash va Sinov
CNC + elektropolishing, ultratovushli tozalash, CMM, He-ichki test.
04
Dunyo bo‘ylab yetkazib berish
To‘liq o‘lchovli hisobot + tozalash + He-ichki sertifikat bilan taqdim etiladi.
Sharhlar
Yarimo‘tkazuvchi uskunalar muhandislari tomonidan ishonch bilan foydalaniladi
★★★★★
"Yuzaning tozaligi va qadoqlash bizning tozalash xonasiga kirish tekshiruvi talablariga darhol javob berdi. O"lchovli hisobot CMM tekshiruvi bilan mukammal mos keldi."
LW
Li Wei
Jarayon uskunalari muhandisi · Taiwan
★★★★★
"HXC bizning kameraning komponentlari uchun vakuum yopinglik talablarini uzoq tushuntirishsiz tushundi. Yetkazib berish muddati aniq narxlar bo"yicha edi."
SL
Sofiya L.
Uskuna dizayni muhandisi · Janubiy Koreya
★★★★★
"Biz HXC dan ikki yildan beri vafersiz ishlov berish va kameraning qismlarini taqdim etamiz. Tozaligi, o"lchov aniqligi va partiya barqarorligi a’lo darajada."
JT
Жеймс Т.
Katta sotib olish · O‘zbekiston
Savollar va Javoblar
Gaz taqsimlash plitalari — FAQ
Muhandislik va sotib olish bo‘yicha savollarimizga yarimo‘tkazuvchi komponentlar jamoamiz javob beradi.
Birxillik ta'minlash uchun: (1) Orifis diametri ±0.005 mm barcha teshiklar bo‘ylab — diametr o‘zgarishi individual teshik oqim qarshiligini o‘zgartiradi; (2) Orifis joylashuvi aniqligi ±0.01 mm — birxillik fazoviy oqimni ta'minlaydi; (3) Ichki kanal bosim pasayishi bir xil — taqsimlash kollektorining qarshiligi uchun mo‘ljallangan. Barchasi CMM bilan tekshirilgan.
Yakuniy ishlov berishdan keyingi tozalash: (1) Yog‘dan tozalash; (2) Elektropolishing barcha gaz bilan namlangan sirtlar (Ra 0.4 µm); (3) IPA ultratovushli; (4) DI yuvish; (5) N₂ bilan quritish; (6) UV lampa tekshiruvi; (7) ISO Sinfi 5 tozalash xonasi qadoqlash. Yadro hisoblash sertifikati yarimo'tkazgich sinfli plitalar uchun mavjud.
Ha — ko'p zonali plitalar markaz va chekka zonalarda turli orifis zichligi bilan (radial gaz profili nazorati) odatda ishlov beriladi. Zona chegaralari, orifislar soni va diametrlari mijoz chizmasi bo'yicha belgilangan va CMM tomonidan tasdiqlangan.
VCR yuzasini yoping (Swagelok), CF ConFlat (knif-edge UHV), KF (ISO 2861), va moslashtirilgan yuz yopish flanşlari. Barcha interfeys o'lchamlari ishlab chiqaruvchi spetsifikatsiyasiga mos ravishda ishlov berilgan va CMM bilan tasdiqlangan. Bir xil plitada aralash interfeys turlari odatiy holdir.
Har bir plita tekshiriladi heliyum massaspektrometriyasi bilan: heliyum bilan bosimlangan, barcha tashqi sirtlar va portlar skanerlash qilinadi. Yoriq tezligi: <1×10⁻⁸ mbar·l/s standart (<1×10⁻¹⁰ UHV). Sertifikatda o'lchangan tezlik, asbob-uskunaning kalibrlash sanasi, tekshirish sanasi, operator imzosi kiritilgan.
Ha — gaz taqsimoti plitalari, integratsiyalashgan isitish kartridj teshiklari yoki rezistiv isitish chiziqlari bilan, gaz kanallari bilan bir vaqtda ishlov beriladi. Isitish teshigi pozitsiyasi toleransi: ±0.1 mm gaz kanali devoridan (minimal bo'shliq DFMda ko'rib chiqilgan). Termokupl qo'shish teshiklari mavjud.
Standart mexanik burg'ulash: Ø0.2 mm minimal. Quyosh Ø0.2 mm dan pastroq bo‘lsa, aniqlik mikro burg‘ulash yoki EDM teshik burg‘ulash usuli qo‘llaniladi. Ko‘rinish nisbati cheklovi (qalinlik ÷ diametr): burg‘ulash uchun 10:1, EDM uchun 50:1 gacha. O‘q teshik toleransi usuldan qat’i nazar ±0.005 mm da saqlanadi.
Prototip: 8–12 kun. Partiya: 14–20 kun. UHV plitalari bilan 200 teshik): 2–4 kun qo‘shiladi.
Taklif oling
Chizmachingizni yuboring.
Taklif oling.
Har bir so'rov DFM ko'rib chiqishni o'z ichiga oladi — tolerans imkoniyatlari, material tasdiqlash va ishlab chiqarish boshlashdan oldin jarayon yondashuvi tasdiqlanadi. MOQ 1 dona.
24hr
Taklifga javob
Minimal buyurtma miqdori 1
Prototiplar OK
ISO
9001:2015
📐
Har bir so'rovda DFM ko'rib chiqish
Tolerans imkoniyatlari, jihozlash strategiyasi va material tasdiqlash. Aniq, amalga oshiriladigan fikr-mulohaza — umumiy qarshilik emas.
🎯
Birinchi maqola inspeksiyasi — Standart
Har bir yangi seriya uchun FAI hisobot. Material sertifikatlari va sirt muolajasi sertifikatlari har bir yetkazib berishda kiritilgan.
🔄
Xuddi shunday jarayon: Prototipdan ishlab chiqarishga
Sizning prototipingizdan ishlab chiqarish partiyalariga amal qiladigan jarayon rejasi. Skalirovka qilganda qayta malakali qilish shart emas.
⚙
3 / 4 / 5-o‘qli CNC + Tokarlik
Murakkab tuzilma qismlari, shaftlar, korpuslar va uzatish komponentlari. Metall va muhandislik plastmassalari.
ISO 9001:2015
3/4/5-Axis Frezalash
CNC aylanma
CMM tekshiruvi
Global yetkazib berish